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ISO 14644-3:2005
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods- 발행일 : 2005-12-06
- 발행기관 : ISO
상세정보
| 분야 | ISO/TC 209 : Cleanrooms and associated controlled environments |
|---|---|
| 적용범위 | ISO 14644-3:2005 specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. ISO 14644-3:2005 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms or separative devices. |
| 국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
| 페이지수 | 65 |
| Edition | 1 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ISO 14644-3:2019상세보기 | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods | 2019-08-30 | 표준 |
| 2 | ISO 14644-3:2005상세보기 | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods | 2005-12-06 | 구판 |
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