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ISO 16700:2016
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification- 발행일 : 2016-07-18
- 발행기관 : ISO
상세정보
| 분야 | ISO/TC 202/SC 4 : Scanning electron microscopy |
|---|---|
| 적용범위 | ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM. |
| 국제분류(ICS)코드 | 37.020 : 광학기기 |
| 페이지수 | 18 |
| Edition | 2 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ISO 16700:2016상세보기 | Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification | 2016-07-18 | 표준 |
| 2 | ISO 16700:2004상세보기 | Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification | 2004-03-05 | 구판 |
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