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KS I ISO 14644-12
클린룸 및 제어된 환경 — 제12부: 나노스케일 입자 농도에 따른 공기 청정도 모니터링을 위한 요구사항- 발행일 : 2020-08-27
- 발행기관 : 한국표준협회
- 국제표준 부합화 : ISO 14644-12:2018(IDT)
상세정보
분야 | 환경(I) > 환경일반 | ||||||||
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적용 범위 | 이 표준은 공기 부유 나노스케일 입자의 농도 측면에서 입자에 따른 공기 청정도 모니터링을 다룬다. | ||||||||
표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments —Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration | ||||||||
국제표준분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 | ||||||||
국제표준 부합화 |
ISO 14644-12:2018(IDT)
※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2020-0185호) | ||||||||
고시사유 | 국제표준 부합화에 따른 표준화 | ||||||||
KS심사기준 |
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페이지수 | 17 |
이력정보
표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
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KS I ISO 14644-12상세보기 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제12부: 나노스케일 입자 농도에 따른 공기 청정도 모니터링을 위한 요구사항 | 2020-08-27 | 제정(표준) | 국제표준 부합화에 따른 표준화 |
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인용표준
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No | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 |
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