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분야 | |
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적용범위 | Clean rooms, Environment (working), Environmental cleanliness, Particle size, Concentration (chemical), Chemical analysis and testing |
국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
페이지수 | 48 |
Edition |
No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
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