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BS EN ISO 14644-10:2022 - TC
Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination.- 발행일 : 2024-01-04
- 발행기관 : BSI
-
레드라인이란?
최신표준과 직전 구판표준의 변경내용을 포함하고 있는 버전. 구입 시 최신표준과 레드라인 두 개 파일을 제공합니다.
상세정보
| 분야 | |
|---|---|
| 적용범위 | Surfaces, Environmental cleanliness, Classification systems, Chemical cleaning, Controlled-atmosphere rooms, Concentration (chemical) |
| 국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
| 페이지수 | 92 |
| Edition |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | BS EN ISO 14644-10:2022 - TC상세보기 | Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination. | 2024-01-04 | 표준 |
| 2 | BS EN ISO 14644-10:2022상세보기 | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination. | 2022-07-31 | 표준 |
| 3 | BS EN ISO 14644-10:2013상세보기 | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration. | 2013-04-30 | 폐지 |
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