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IEC 60204-33:2009
Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment- 발행일 : 2009-12-10
- 발행기관 : IEC
상세정보
| 분야 | TC 44 : Safety of machinery - Electrotechnical aspects |
|---|---|
| 적용범위 | IEC 60204-33:2009 applies to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors. It is applicable to the electrical equipment or parts of the electrical equipment that operate with nominal supply voltages not exceeding 1 000 V for alternating current (a.c.) and not exceeding 1 500 V for direct current (d.c.), and with nominal supply frequencies not exceeding 200 Hz. For higher voltages or frequencies, special requirements IEC 60204 applies to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors. |
| 국제분류(ICS)코드 |
13.110 : 기계 안전성
25.040.30 : 산업 로봇. 조종기 29.020 : 전기 공학 일반 |
| 페이지수 | 247 |
| Edition | 1.0 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | IEC 60204-33:2009상세보기 | Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment | 2009-12-10 | 표준 |
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