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ISO 20146:2019
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges- 발행일 : 2019-01-31
- 발행기관 : ISO
상세정보
| 분야 | ISO/TC 112 : Vacuum technology |
|---|---|
| 적용범위 | This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges. This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards. |
| 국제분류(ICS)코드 | 23.160 : 진공공학 |
| 페이지수 | 16 |
| Edition | 1 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ISO 20146:2019상세보기 | Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges | 2019-01-31 | 표준 |
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