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    표준

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    ISO 21360-4:2018

    Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
    • 발행일 : 2018-07-31
    • 발행기관 : ISO
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상세정보

분야 ISO/TC 112 : Vacuum technology
적용범위

This document, in conjunction with ISO 21360-1, specifies methods for the measurement of performance characteristics of turbomolecular vacuum pumps. It is applicable to all sizes and all types of turbomolecular vacuum pumps, including those

— with mechanical or magnetic bearings;

— with or without an additional drag stage(s) or other pumping stages on the shaft;

— with one or more inlet ports.

Since turbomolecular vacuum pumps are backed by primary pumps, their performance cannot be completely defined by the volume flow rate curve. Also, the driving device and the backing pressure of the turbomolecular vacuum pump is important to the performance.

The following completes the performance characteristics:

— information about throughputs and backing pressure of the turbomolecular vacuum pump;

— the compression ratio curve (compression ratio vs backing pressure of turbomolecular vacuum pump).
국제분류(ICS)코드 23.160 : 진공공학
페이지수 10
Edition 1

이력정보

No. 표준번호 표준명 발행일 상태
1 ISO 21360-4:2018상세보기 Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps 2018-07-31 표준

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