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ISO 14644-15:2017
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration- 발행일 : 2017-10-26
- 발행기관 : ISO
상세정보
| 분야 | ISO/TC 209 : Cleanrooms and associated controlled environments |
|---|---|
| 적용범위 | ISO 14644-15:2017 provides requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments which are linked to the ISO standard for cleanliness classes by chemical concentration (see ISO 14644‑8). The following are outside the scope of ISO 14644-15:2017: - health and safety requirements; - compatibility with cleaning agents and techniques; - cleanability; - biocontamination; - specific requirements of equipment and materials for processes and products; - design details of equipment. |
| 국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
| 페이지수 | 21 |
| Edition | 1 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ISO 14644-15:2017상세보기 | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration | 2017-10-26 | 표준 |
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